Аннотация 1
Содержание 2
Введение 3
1. Патентный обзор 4
1.1 Заключение 19
2. Информационный обзор 21
2.1 Классификация методов нанесения покрытий в вакууме 21
2.2 Диодные системы ионного распыления 27
2.3 Магнетронные системы ионного распыления 30
2.4 Вакуумно-дуговое распыление 35
2.5 Электронно-лучевая обработки материалов 39
2.6 Технологические особенности нанесения пленок резистивным
методом 43
3. Специальная часть 48
3.1 Технологический процесс термического испарения 51
3.2 Технологический процесс ионного распыления 54
3.3 Расчет времени технологического процесса 58
4. Экономическая часть 64
5. Список использованной литературы 82
Приложения должны быть в работе, но в данный момент отсутствуют
Тонкие пленки служат для изменения оптических, электрических, магнитных, механических и химических свойств поверхности твердого тела и находят широкое практическое применение в современных областях техники. Вряд ли сейчас можно назвать какую-либо область науки, техники или промышленного производства, где бы не применялись тонкие пленки.
В оптике тонкие пленки используются в качестве фильтрующих и просветляющих покрытий линз, поляризаторов, интерференционных светофильтров, в качестве отражающих поверхностей рефлекторов, а также при производстве зеркал.
В радиоэлектронике они используются при производстве интегральных микросхем, полупроводниковых приборов, элементов СВЧ техники, пленочных резисторов и конденсаторов, магнитных пленочных элементов памяти ЭВМ, сверхпроводящих пленок, проводящих покрытий флюоресцирующих экранов электронно-лучевых трубок, фотоэлектронных умножителей и др.
В машиностроении тонкие пленки используются в качестве антикоррозионных и упрочняющих покрытий, а также в качестве покрытий для гигроскопических материалов.
В измерительной технике на основе пленочной технологии изготовляются комбинированные термопары, металлополупроводниковые болометры, пленочные терморезисторы и тензометры.
Тонкие пленки находят широкое применение при фундаментальных исследованиях связи структуры твердых тел с их свойствами, фотоэлектрических явлений и электропроводности, поверхностных свойств тел и механизма роста кристаллов, а также при изготовлении мишеней, используемых в ядерных экспериментах.
При изготовлении товаров народного потребления тонкие пленки применяются для декоративных покрытий пластмасс, стекла, керамики, тканей.
