
Тип работы:	Предмет:	Язык работы:

ТРИБОЛОГИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ ИМПУЛЬСНЫМ ВАКУУМНО-ДУГОВЫМ МЕТОДОМ

Работа №	76594
Тип работы	Магистерская диссертация
Предмет	материаловедение
Объем работы	62
Год сдачи	2017
Стоимость	5560 руб.
ПУБЛИКУЕТСЯ ВПЕРВЫЕ
Просмотрено	257

Не подходит работа?

Узнай цену на написание

Содержание

Введение 5
Глава 1. Обзор литературы 8
1.1 Алмазоподобные углеродные покрытия, структура и свойства 8
1.2 Методы синтеза алмазоподобных углеродных покрытий 16
1.3 Трибологические свойства алмазоподобных материалов Ошибка!
Закладка не определена.
Глава 2. Технология приготовления образцов и методики исследования 31
2.1 Технология получения тонких пленок на основе слоев углерода ... 31
2.2 Методики исследования структуры 33
2.3 Методики проведения трибологических исследований 34
2.4 Методики измерения микротвердости
2..5 Методики исследования адгезионной прочности 38
Глава 3. Результаты исследования и их обсуждение 41
3.1 Структура тонких покрытий на основе слоев углерода 41
3.3 Трибологические исследования 46
3.4 Результаты и сравнение измерения микротвердости 48
3.5 Результаты исследования адгезионной прочности 50
Заключение
Список использованной литературы

Введение

Тонкие твердые покрытия на основе нитридов, карбидов, окислов металлов, а также углерода применяются для модифицирования поверхности различных инструментов и деталей точного машиностроения с целью повышения их характеристик: твердости, снижения коэффициента трения, устойчивости к высокотемпературному окислению и т.д. Методы физического осаждения этих покрытий (PVD) имеют много преимуществ, в частности более низкую температуру деталей в процессе осаждения покрытия, а также экологическую безопасность, так процесс реализуется в вакуумной камере без выброса в атмосферу вредных веществ. При этом в отличие от химических методов получения покрытий (CVD) в процессе их получения не используют токсичные газы.
Из всех покрытий, получаемых PVD - методами, наибольшей твердостью, сравнимой с твердостью натурального алмаза, и низким коэффициентом трения обладает т. н. алмазоподобное углеродное покрытий (DLC), основным недостатком которого является невысокая термостойкость (порядка 400 °С).
Учитывая перспективность использования углеродного покрытия в узлах трения, в том числе работающих в режиме сухого трения без смазки, целью данной работы является определение особенностей изменения трибологических характеристик алмазоподобных углеродных покрытий, в том числе, легированных азотом, после температурного воздействия, а также определение корреляционных связей этих характеристик с другими свойствами покрытий (структура, твердость, адгезионные свойства, морфология поверхности).
Объектом исследования являются тонкие покрытия на основе слоев углерода и сформированные импульсным вакуумно-дуговым методом.
Предметом исследования являются структура, микротвердость, трибологические и адгезионные свойства тонких покрытий на основе слоев углерода.
Целью данной работы является определение особенностей изменения трибологических характеристик алмазоподобных углеродных покрытий, в том числе, легированных азотом, после температурного воздействия, а также определение корреляционных связей этих характеристик с другими свойствами покрытий (структура, твердость, адгезионные свойства, морфология поверхности).
В соответствии с поставленной целью в основные задачи диссертационной работы входили следующие:
• Освоение методик проведения эксперимента;
• Получение образцов и проведения исследований;
• Исследование трибологических характеристик;
• Исследование микротвердости;
• Исследование адгезионной прочности;
• Исследования структуры.

Возникли сложности?

Нужна помощь преподавателя?

Помощь в написании работ!

ДИПЛОМНЫЕ МАГИСТЕРСКИЕ ДИССЕРТАЦИИ

Курсовые Статьи Диплом Рязань

Заключение

Анализируя полученные результаты исследований, можно сделать следующие выводы:
1. Спектр Рамана углеродного покрытия в исходном состоянии и после отжига характерен для углеродного алмазоподобного покрытия с высоким содержанием зр3-фазы.
2. Спектр углеродного покрытия, легированного азотом характерен для углеродных покрытий с большим содержанием зр2-фазы.
3. Наибольшей износостойкостью обладает покрытие C:N+C, как в исходном состоянии, так и после отжига при температуре 400 0С.
4. Трибологические характеристики коррелируют с микротвердостью покрытий, а именно, наибольшей микротвердостью обладает покрытие C:N+C
5. Наибольшей адгезионной прочностью в исходном состоянии обладает покрытие C:N+C, а после отжига - C:N. При этом отжиг приводит к повышению адгезионной прочности покрытий С и C:N, но к уменьшению - для покрытия C:N+C. Можно предположить, что это связано с повышением хрупкости покрытия C:N+C после температурного воздействия.
6. Результаты исследований были представлены на научной конференции.

Литература

1. Чайковский Э.Ф., Пузиков В.М., Семенов А.В. Алмазоподобные пленки углерода / Обзор. инф. сер. «Монокристаллы и особо чистые вещества». - М.: НИИТЭХИМ, 1985, 365 с.
2. Алмаз: справочник / Федосеев Д.В., Новиков Н.В., Вишневский А.С - Киев: Наукова думка, 1981. - 78 с.
3. Novoselov K.S. Electric field effect in atomically thin carbon films // Science. - 2004. - Vol. 306. - P. 666 - 669.
4. Морозов С.В., Новоселов К.С., Гейм А.К. Электронный транспорт в графене // УФН. - 2008. - Т. 178. - №7. - С. 776-780.
5. Вуль А.Я. Исследование наноуглерода в России: от фуллеренов к нанотрубкам и наноалмазам // Российские нанотехнологии. - 2007. - Т. 2. - №3-4. - С. 17-30.
6. Ивановская В.В. Алмазоподобные углеродные наноматериалы: моделирование структуры и свойств // Российские нанотехнологии. - 2007. - Т. 2. - №9-10. - С. 12-27.
7. Елецкий А.В. Фуллерены и структуры углерода // УФН. - 1995. - Т. 165. - №9. - С. 977-1009.
8. Robertson J. Diamond-like amorphous carbon // Materials Science and Engineering R. - 2002. - Vol. 37. - P. 129-281.
9. Новиков Н.Д. Структура сверхтонких пленок линейно-цепочечного углерода // Вестник Московского университета: Серия 3 «Физика. Астрономия». - 2002. - №2. - С. 57-60.
10. Lifshitz Y. Diamond-like carbon - present status // Diamond and Related Materials. - 1999. - Vol. 8. - P. 1659-1676.
11. McKenzie D.R. Tetrahedral bonding in amorphous carbon // Rep. Prog. Phys. - 1996. - N.59. - P. 1611-1664.
12. Lifshitz Y. Pitfalls in amorphous carbon studies // Diamond and Related Materials - 2003. - Vol.12. - P. 130-140.
13. Aksenov I.I., Strel’nitskij V.E. Vacuum-arc discharge as an instrument for PVD process of DLC films deposition // Алмазные пленки и пленки родственных материалов: сб. докл. 5-го Международного симпозиума. - Харьков: ННЦ ХФТИ, 2002. С. 39-64.
14. Gaskell P.H. et al. Neutron-scattering studies of the structure of highly tetrahedral amorphous diamondlike carbon // Phys.Rev. Lett. - 1991. - Vol. 67. - P. 1286-1289.
15. Гончаренко В.П., Колпаков А.Я., Маслов А.И. Структура и свойства алмазоподобных углеродных пленок, механизмы их формирования из импульсного потока плазмы // Материалы VII конференции стран СНГ «Радиационная повреждаемость и работоспособность конструкционных материалов». - Белгород. - 1997. - С.146 - 148.
16. Олевский С.С. и др. Особенности структуры и химического состава алмазоподобных углеродных пленок // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1982. - №7. - С. 118-125.
17. Davis C.A., Amaratunga G.A.J., Knowles K.M. Growth Mechanism and Cross-Sectional Structure of Tetrahedral Amorphous Carbon Thin Films // Phys. Rev. Lett. - 1998. - Vol. 80. - P. 3280-3283.
18. Yin Y., Zou J., McKenzie D.R. Preferred orientation in carbon films induced by energetic condensation // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. - 1996. - Vol. 119.
- P. 587-590.
19. Taylor M.B., Lau D.W.M, Partridge J.G., McCulloch D.G. and McKenzie D.R. The origin of preferred orientation during carbon film growth // J. Phys.: Condens. Matter - 2009. - Vol. 21. - P. 1-7.
20. Lau D.W.M., McCulloch D.G Taylor M.B., Partridge J.G. and McKenzie D.R. Abrupt Stress Induced Transformation in Carbon Films with a Highly Conductive Phase // PRL - 2008. - Vol. 100. P. 1-4.
21. Scheibe H.-J., Drescher D., Alers P. Raman characterization of amorphous carbon films // Fresenius J. Analytical Chemistry. - 1995. - Vol. 353. - P. 695-697.
22. Scheibe H.-J., Drescher D., Kolitsch A., Mensch A. Investigation of surface topography, morphology and structure of amorphous carbon films by AFM and TEM // Fresenius J. Analytical Chemistry. - 1995. - Vol. 353. - P.690-694.
23. Drescher D. et al. A model for particle growth in arc deposited amorphous carbon films // Diamond and Related Materials. 1998. Vol. 7. P. 1375-1380.
24. Fallon P.J. et al. Properties of filtered-ion-beam-deposited dimondlike carbon as a function of ion energy // Phys. Rev. B. - 1993. - Vol. 48. - №7. - P. 4777-4782.
25. Chhowalla M. et al. Influence of energy and substrate temperature on the optical and electronic properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films // J. Appl. Phys. - 1997. - Vol. 81 (1) - P. 139-145.
26. Shi Xu et al. Properties of carbon ion deposited tetrahedral amorphous carbon films as a function of ion energy // J. Appl. Phys. - 1996. - Vol. 79 (9). - P. 7234-7240.
27. Polo M.C. et al. Preparation of tetrahedral amorphous carbon films by filtered cathodic vacuum arc deposition // Diamond and Related Materials. - 2000. - Vol. 9. - P. 663-667.
28. Tay B.K. et al. Effects of substrate temperature on properties of tetrahedral amorphous carbon films // Thin Solid Films. - 1999. - Vol. 346. - P. 155-161.
29. McKenzie D.R. et al. Properties of tetrahedral amorphous carbon prepared by vacuum arc deposition // Diamond and Related Materials. - 1991. - Vol. 1. - P. 51-59.
30. Teo K.B.K. et al. Highest optical gap tetrahedral amorphous carbon // Diamond and Related Materials. - 2002. - Vol. 11. - P. 1086-1090.
31. Tochitsky E.I. et al. Structure and properties of carbon films prepared by pulsed vacuum arc deposition // Surface and Coatings Technology. - 1991. - Vol.
47. - P. 292-298.
32. Булычев С.И., Великих В.С., Маслов А.И. Физико-механические свойства алмазоподобных углеродных пленок // Электронная техника: Cер. 6 «Материалы». - 1986. - Вып. 8. - №219. - С. 19-22.
33. Inkin V.N. et al. A superhard diamond-like carbon film // Diamond and Related Materials. - 2000. - Vol. 9. - P. 715-721.
34. Inkin V.N., Kolpakov A.Y., Oukhanov S.I., Barbakov V.I., Galkina M.E., Goncharov I.U. Change of internal stress of carbon superhard condensates at a process of annealing // Diamond and Related Materials. - 2004. - Vol. 13. - P. 1474-1479.
35. Schulz H. et al. Pulsed arc deposition of super-hard amorphous carbon films // Appl. Phys. A. - 2004. - Vol. 78. - P. 675-679.
36. Inkin V.N., Kirpilenko G.G., Kolpakov A.J. Internal stresses in ta-C films deposited by pulse arc discharge method // Diamond and Related Materials. - 2001. - Vol. 10. - P. 1103-1108.
37. Колпаков А.Я. Влияние радиационных дефектов на процесс формирования углеродных алмазоподобных покрытий: Дис. ...канд. физ.- мат. наук / Белгородский государственный университет. - Белгород, 2000. - 133 с.
38. Маслов А.И. Разработка способа и технологии нанесения углеродных алмазоподобных покрытий на спецоснастку и изделия электронной техники / Московский ордена трудового красного знамени институт электронной техники. - М, 1987. - 236 с.
39. Галкина М.Е. Внутренние напряжения в углеродных конденсатах, формируемых импульсным вакуумно-дуговым методом: Дис. .канд. физ.- мат. наук / Белгородский государственный университет. - Белгород, 2005. - 164 с.
40. Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме: пат. 2240376 РФ. / Колпаков А.Я., Инкин В.Н., Уханов С.И.; опубл. 20.11.04.
41. Ferrari A.C. et al. Density, sp3 fraction, and cross-sectional structure of amorphous carbon films determined by x-ray reflectivity and electron energy-loss spectroscopy // Phys. Rev. B. - 2000. - Vol. 62. - №16. - P. 11089-11103.
42. Ferrari A.C. Diamond-like carbon for magnetic storage disks // Diamond and Related Materials. - 2004. - Vol. 180-181. - P.190-206.
43. Fyta M.G. et al. Structure, stability, and stress properties of amorphous and nanostructured carbon films // Thin Solid Films. - 2005. - Vol. 482. - P. 56-62.
44. Beghi M.G. et al. Elastic constants and structural properties of nanometre-thick diamond-like carbon films // Diamond and Related Materials. - 2002. - Vol.
11. - P. 1062-1067.
45. Beghi M.G. et al. Bonding and mechanical properties of ultrathin diamond-like carbon films // Applied Physics Letters. - 2002. - Vol. 81. - №20. - P. 3804-3806.
46. Druz B. et al. Nitrogenated carbon films deposited using filtered cathodic arc // Diamond and Related Materials. - 2000. - Vol. 9. - P. 668-674.
47. Kleinsorge B. et al. Bonding regimes of nitrogen in amorphous carbon // Diamond and Related Materials. -2000. - Vol. 9. - P. 643-648.
48. Zhang, P. Microstructure and mechanical properties of nanocomposite amorphous carbon films / P. Zhang [et al.] // J. Vac. Sci. Technol. A. 2002. Vol. 20, N. 4. P. 1390-1394.
49. Tay, B.K. Hard carbon nanocomposite films with low stress / B.K. Tay [et al.] // Diamond and Related Materials. 2001. Vol. 10. P. 1082-1087.
50. Суджанская И.В. Влияние толщины и легирования азотом на электропроводность и механические свойства системы «кремний - покрытие»: Дис. ...канд. физ.-мат. наук / Белгородский государственный университет. - Белгород, 2008. - 138 с.
51. Пат. 2342468 РФ, С 1. Способ формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме.
52. Варнин В.П., Дерягин Б.В., Федосеев Д.В., Спицын Б.В. // ЖЭТФ. - 1975. - Т. 69. - В. 4 (10). - С. 1250.
53. Григорьев С.Н. Нанесение покрытий на инструмент / С.Н. Григорьев, М.А. Волосова. - М.: Изд-во «ИТО», 2007. - 68 с.
54. Аксенов, И.И., Стрельницкий В.Е. Синтез безводородных пленок алмазоподобного углерода // Алмазные пленки и пленки родственных материалов: сб. докл. 12-го Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике». - Харьков: ННЦ ХФТИ, 2001. - С. 96-105.
55. McKenzie D.R. Tetrahedral bonding in amorphous carbon // Rep. Prog. Phys. - 1996. - N.59. - P. 1611-1664.
56. Голянов В.М., Демидов А.П. Способ получения искусственных алмазов. А.С. № 411037.
57. Weissmantel C., Erler H., Reisse G. Ion beam techniques for thin and thick film deposition // Surf. Sci. - 1979. - Vol. 86. - № 2. - P. 207-221.
58. Aisenberg S., Chabot R. Ion-Beam Deposition of Thin-Films of Diamondlike Carbon // J. Appl. Phys. - 1971. - V.42. - P. 2953 - 2958.
59. Yamamoto K., Watanabe T., Wazumi K., Koga Y. and Iijima S. Carbon films deposited with mass-selected carbon ion beams under substrate heating // Surface and Coatings Technology. - 2003. - V. 169-170. - P. 328-331.
60. Чайковский, Э.Ф. Осаждение алмазных пленок из ионных пучков углерода / Э.Ф. Чайковский, В.М. Пузиков, А.В. Семенов // Кристаллография. 1981. Т. 26, вып. 1. С. 219-222.
61. Voevodin A.A., Donley M.S. Preparation of amorphous diamond-like carbon by pulsed laser deposition: a critical review // Surf. Coatings Technol. - 1996. - Vol. 82. - P. 199-213.
62. Eason R. Pulsed laser deposition of thin films: Applications - LED growth of functional materials. - Hoboken: Wiley- Interscience, 2007. - 628 p.
63. Андреев А.А. и др. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия. - Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. - 236 с.
64. Аксенов И.И Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы. - Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. - 212 с.
65. Блинов И.Г. и др. Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники. - М.: ЦНИИ «Электроника», 1974.
66. Вакуумные дуги : пер. с англ. / под ред. Дж. Лафферти. - М.: Мир, 1982. - 432 с.
67. Месяц Г.А. Эктоны в вакуумном разряде: пробой, искра, дуга - М.: Наука, 2000. - 424с.
68. Кесаев И.Г. Катодные процессы электрической дуги. - М.: Наука, 1968.
69. Kimblin C.W. Erosion and Ionization in Cathode Spot Regions of Vacuum Arc // J. Appl. Phys. - 1973. - Vol. 44. - N. 7. - P. 3074-3081.
70. Стрельницкий В.Е. Исследование алмазоподобных форм углерода и получение покрытий на их основе при конденсации плазмы в вакууме : дис. ... канд. физ.-мат. наук: код: зашищена 1980 / В.Е. Стрельницкий. - Харьков.
71. Sethuraman S.K., Chatterton P.A., Barrault M.R. A study of the erosion rate of vacuum arcs in a transverse magnetic field // Journal of Nuclear Materials. - 1982. - Vol. 111-112. - P. 510-516.
72. Камышанченко Н.В., Ковалева М.Г., Колпаков А.Я., Поплавский А.И. Влияние величины заряда емкостного накопителя на процесс абляции графита в импульсном вакуумно-дуговом разряде // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2006. - №5. - С.30-31.
73. Никитин В.М., Колпаков А.Я., Гончаров И.Ю. Влияние длительности импульса сильноточного вакуумно-дугового разряда на величину коэффициента эрозии графитового катода // Научные ведомости. - Белгород: БелГУ. - 2001. - №2 (15). - С. 12-15.
74. Kandah M., Meunier J-L. Erosion Study on Graphite Cathodes Using Pulsed Vacuum Arcs // IEEE Transactions on plasma science. - 1996. - Vol. 24. - N. 2. - P. 523-527.
75. Бугаев А.С. и др. Исследования направленных скоростей ионов в вакуумном дуговом разряде эмиссионными методами // ЖТФ. - 2000. - Т. 70.
- Вып. 9. - С. 37-43.
76. Месяц Г.А., Баренгольц С.А. Механизм генерации аномальных ионов вакуумной дуги // УФН. - 2002. - Т. 172. - № 10. - С.1113-1130.
77. Кринберг И.А. Зависимость зарядности ионов от силы тока в стационарных и импульсных вакуумных разрядах // Письма в ЖТФ. - 2001. - Т. 27. - Вып. 2. - С. 9-16.
78. Ivanov V., Juttner B., Pursch H. Time resolved measurement of the parameters of arc cathode plasma in vacuum // IEEE Trans. Plasma Sci. - 1985. - Vol. 13. - P. 334-336.
79. Meunier J-L., Campbell M., Kandah M. Evidence of columnar diamond growth structures within cathode spot craters of vacuum arcs on carbon // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2003. - Vol. 36. - P. 3138-3143.
80. Золотухин И.В., Фрактальная структура и некоторые физические свойства углеродного депозита, полученного распылением графита в электрической дуге // Письма в ЖТФ. - 1997. - Т. 23. - № 13. - С. 71-75.
81. Золотухин И.В., Соколов Ю.В., Иевлев В.П. Структура, внутреннее трение и модуль упругости фрактального углеродного депозита // ФТТ. - 1998. - Т. 40. - № 3. - С. 584-586.
82. Аксенов И.И. и др. Высокоэффективный источник чистой углеродной плазмы // ЖТФ. - 1980. - Т. 50. - №9. - С. 2000-2004.
83. Стрельницкий, В.Е. Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы // Вопросы атомной науки и техники. - 2002. - №6. - С. 125-133.
84. Маслов А.И., Дмитриев Г.К., Чистяков Ю.Д. Импульсный источник углеродной плазмы для технологических целей // Приборы и техника эксперимента. - 1985. - №3. - С. 146-149.
85. International patent, WO 98/54376. Method of forming diamond-like carbon coating in vacuum.
86. US patent, 6,261,424 B1. Method of forming diamond-like carbon coating in vacuum.
87. Аксенов Д.С., Аксенов И.И., Стрельницкий В.Е. Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы // Вопросы Атомной Науки и Техники. - 2007. - №6. - С. 106-114.
88. Kolpakov A.Ya., Poplavsky A.I., Galkina M.E., Sudzhanskaya I.V., Goncharov I.Yu., Druchinina O.A., Strigunov N.V., Kharchenko V.A., and Merchansky O.Yu. Properties of Nanosized Carbon Coatings Doped with Nitrogen, Tungsten, and Aluminium and Obtained by Pulse Vacuum Arc Method.
- 2010. - V.5. - N.3-4. - P.1-5.
89. Egerton R.F. Electron Energy Loss Spectroscopy in the Electron Microscope , 1996, 2nd ed., Plenum, New York, ISBN 0-306-45223-5.
90. BERGER M, CORONEL E, OLSSON E. Microstructure of d.c. magnetron sputtered TiB2 coatings [J]. Surf Coat Technol, 2004, 185(2-3): 240-244.
91. BERGER M, KARLSSON L, LARSSON M, HOGMARKA S. Low stress TiB2 coatings with improved tribological properties [J]. Thin Solid Films, 2001, 401(1-2): 179-186.
92. PANICH N, SUN Y. Mechanical properties of TiB2-based nanostructured coatings [J]. Surf Coat Technol, 2005, 198(1-3): 14-19.
93. BOHWAN P, JUNG D H, KIM H, YOO K C, LEE J J, JOO J H. Adhesion properties of TiB2 coatings on nitrided AISI H13 steel [J]. Surf Coat Technol, 2005, 200: 726-729.
94. WANG J F, CHENG Q F, TANG Z Y. Layered nanocomposites inspired by the structure and mechanical properties of nacre [J]. Chem Soc Rev, 2012, 41(3): 1111-1129.
95. ZHAO Y H, LIN G Q, XIAO J Q, DU H, DONG C, CAO L J. Ti/TiN multilayer thin films deposited by pulse biased arc ion plating [J]. Appl Surf Sci, 2011, 257: 2683-2688.
96. LEE J H, KIM U W M, LEE T S, CHUNG M K, CHEONG B K, KIM S G. Mechanical and adhesion properties of Al/AlN multilayered thin films [J]. Surf Coat Technol, 2000, 133-134: 220-226.
97. CHU K, LU Y H, SHEN Y G. Structural and mechanical properties of titanium and titanium diboride monolayers and Ti/TiB2 multilayers [J]. Thin Solid Films, 2008, 516: 5313-5317.
98. Jansson U. Sputter deposition of transition-metal carbide films: A critical review from a chemical perspective / Jansson U., Lewin E. // Thin Solid Films - 2013. - V.536. - P.1.
99.Spencer E. Ion-beam deposited polycrystalline diamondlike films / Spencer E., Shmidt P. // Appl. Phys. Lett. - 1976. - V.29. - P.118.
100.Хрущов М.М. Легированные алмазоподобные покрытия
трибологического назначения / Хрущов М.М. // Современные технологии модифицирования поверхностей деталей машин. Под ред. Г.В. Москвитина М.: УРСС / КРАСАНД - 2013. - 400с.
101.Spencer E. Ion-beam deposited polycrystalline diamondlike films / Spencer E., Shmidt P. // Appl. Phys. Lett. - 1976. - V.29. - P.118.
102. Erdemir A. Characterization of transfer layers on steel surfaces sliding against diamond-like hydrocarbon films in dry nitrogen / Erdemir A., Bindal C., Pagan J., Wilbur P. // Surf. Coat. Technol. - 1995. - V. 76-77. - Pt 2. - P.559.
103. Grill A. Diamond-like carbon: state of the art / Grill A. // Diamond Related Mat. - 1999. - V.8. - P.428.
104. Fontaine J. Towards the use of diamond-like carbon solid lubricant coatings in vacuum and space environments / Fontaine J. // J. Eng. Tribology - 2008. - V.222.
- P.1015.
105. Kao W.H. Optimizing the tribological properties and high-speed drilling performance via nitrogen addition / Kao W.H., Su I.L., Yao S.H., Huang Y.C. // Surf. Coat. Technol. - 2010. - V.204. - P.1277.
106. Study on structure, mechanical and tribological properties of iron incorporated diamond-like carbon films Shengguo Zhou Zh, Long Liu, Liqiu Ma School of Material Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology, Ganzhou 341000, China Received,V.35,2016.
107. History and Applications of Diamond-Like Carbon Manufacturing Processes Hideki Moriguchi*, Hisanori Ohara and Masanori Tsujioka,sei technical review number 82,april 2016.
108. Ferrari A.C., Rodil S.E., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2003. V. 67. PP.155306-1-20. DOI: 10.1103/PhysRevB.67.155306.