ВВЕДЕНИЕ 3
ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ 4
ГЛАВА 2. ПРАКТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ 14
2.1 Получение образцов 14
2.2 Методики исследования 20
ГЛАВА 3. Результаты 35
3.1 Исследование структуры спечённых композитов Ti-B-C 35
3.2 Исследование структуры Ti-B-C покрытий 42
3.3 Трибологические исследования покрытий Ti-B-C 50
3.4 Рентгеноструктурный анализ Ti-B-C покрытий 59
3.5 Электрические свойства покрытий Ti-B-C 62
ВЫВОДЫ 65
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 66
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
На сегодняшний день в обрабатывающей промышленности предъявляются высокие требования к износо- и теплостойкости режущего инструмента. При разработке защитных покрытий для такого рода инструментов необходимо решение важнейших задач: возможность использования инструмента в работах при температуре выше 1000 оС и обеспечение высокой скорости резания.
В последние годы для обработки титановых сплавов используются покрытия на основе боридов титана. Они обладают низким коэффициентом трения и хорошей износостойкостью. Объёмные материалы на основе боридов и карбидов титана, в свою очередь, обладают высокой температурной стойкостью и низким коэффициентом трения в паре с титановыми сплавами, что открывает широкие перспективы использования для авиакосмической промышленности в качестве материалов узлов трения. Современные летательные аппараты по массе в среднем содержат 9% титановых сплавов. Наибольшее применение титановых сплавов отмечается в военной авиации. Таким образом, использование титановых сплавов в аэрокосмической промышленности стремительно растет.
Цели данной работы:
1) Синтез композитов системы Ti-B-C разного состава при помощи метода искрового плазменного спекания, исследование их структуры.
2) Получение покрытий с использованием синтезированного материала в качестве катода для распыления ионно-плазменными методами. Исследование их структуры, трибологических и электрических свойств.
В результате выполнения данной работы методом горячего прессования с высоко частотным импульсным нагревом (ИПС) были получены образцы композитного керамического материала на основе системы Ti-B-C различных составов в виде дисков диаметром 40, 70 и 100 мм. Были проведены исследования микроструктуры и элементного состава материала полученных образцов методом растровой электронной микроскопии. Из анализа структуры и состава можно сделать вывод, что спечённые композиты состоят из двух фаз: твердых растворов на основе TiC и TiB. Состав этих фаз меняется в зависимости от состава исходных компонентов (Ti, B и C), в достаточно широких пределах.
Полученные композитные диски использовались в качестве катодов - мишеней для нанесения покрытий ионно-плазменными методами. Методом вакуумно-дугового и магнетронного распыления этих катодов были нанесены покрытия на поверхность подложек из быстрорежущей стали Р6М5. Методом рентгеновской дифрактометрии исследовался фазовый состав этих покрытий. Было обнаружено, что покрытия на основе системы Ti-B-C представляют собой однофазную систему с ГЦК решёткой. Трибологические свойства покрытий, нанесенных вакуумно-дуговым и магнетронным методами, исследовалось в паре трения с корундовым контртелом. Как правило, в случае реактивного распыления нитридных покрытий с использованием металлического катода в атмосфере азота, вакуумно-дуговое распыление дает лучшие результаты, так как в этом случае свойства пленки зависят от стехиометрии азота. Это происходит, так как степень ионизации и энергия ионов в плазме дуги выше. Но в нашем случае, материал покрытия и катода при магнетронном распылении не только не уступает, но и дает лучшие результаты. Образцы покрытий, полученные магнетронным распылением, обладают лучшей стехиометрией, имеют более гладкую поверхность, что приводит к лучшим трибологическим свойствам по сравнению с покрытиями, нанесенными дуговым методом. Анализируя структуру дорожек можно отметить, что разрушение покрытий обусловлено истиранием. Отслаивания покрытий не наблюдалось.
Исследования электрических свойств покрытий показали, что покрытиям присуща высокая электропроводность. Обычно в таких полупроводниковых материалах связано с нестехиометрией состава, что приводит к появлению свободных носителей - электронов. Изменение типа проводимости можно объяснить изменением эффективного заряда носителей. При низких температурах, скорее всего, преобладает электронная проводимость, а при высоких - ионная. В совокупности с высокими значениями термо- и износостойкости это позволяет использовать данные покрытия не только для защиты режущег8о инструмента, но и в качестве материала для изготовления контактов, а также дорожек микросхем, работающих в условиях повышенных температур и в агрессивных средах.
1. S. Veprek, A.S. Argon. “Mechanical properties of superhardnanocomposites,” Surface and Coatings Technology,vol.146-147 pp.175-182, 2001.
DOI: 10.1016/S0257-8972(01)01467-0
2. J.T. Ok, I.W. Park, J.J. Moore, M.C. Kang, K.H. Kim. “Syntheses and mechanical properties of Ti-B-C coatings by a plasma-enhanced chemical vapor deposition,”Surface and Coatings Technology,vol.200 pp. 1418-1423, 2005. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2005.08.078
3. J. Lauridsena, N. Nedforsb, U. Janssonb, J. Jensena, P. Eklunda, L. Hultmana.“Ti-B-C nanocomposite coatings deposited by magnetron sputtering,”Applied Surface Science,vol. 258, pp. 9907-9912, 2012.
DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.06.049
4. M.Y. Liu, J.Y. Yan, S. Zhang, L. Dong, M. Cao, X.Y. Deng, D.J. Li. “The Effect of Deposition Temperature and Work Pressure on Ti-B-C Nanocomposite Coating Prepared by Multitarget Magnetron Cosputtering,” IEEE Transactions on plasma science, vol. 39, no. 11, pp. 3115-3119, 2011.
DOI: 10.1109/TPS.2011.2162081
5. R. Knotek, F. Breidenbach, Jungblut, F. Loffler. “Superhard Ti-B-C-N coating,” Surface and Coatings Technology, vol. 43-44, pp. 107-115, 1990.
DOI 10.1023/A:1016533913894
6. J.C. S'anchez-L'opez, M.D. Abad, A. Justo, R. Gago, J.L. Endrino, A. Garc'ia- Luisand M. Brizuela. “Phase composition and tribomechanical properties of Ti-B- C nanocomposite coatings prepared by magnetron sputtering,” Journal of Physics D: Applied Physics, vol. 45 pp. 375-401, 2012.
DOI:10.1088/0022-3727/45/37/375401.
7. E.A. Levashov, V.I. Kosayanin, L.M. Krukova, J.J. Moore, D.L. Olson. “Structure and properties ofTi-C-B composite thin films produced by sputtering of composite Tic-TiB2 targets,” Surface and Coatings Technology, vol. 92 pp. 34-41, 1997.
DOI: 10.1016/S0257-8972(96)03083-6
8. M.D. Abad, D. Caceres, Y.S. Pogozhev, D.V. Shtansky, J.C. Sanchez-Lopez. “Bonding Structure and Mechanical Properties of Ti-B-C Coatings,” Plasma Process and Polymer, vol. 6, pp. 107-112, 2009.
DOI: 10.1002/ppap.200930403
9. А. И. Гусев. Превращение беспорядок-порядок и фазовые равновесия в сильно нестехиометрических соединениях. УФН, 2000, т. 170, № 1, с. 3-40.
10. Гусев А. И. ДАН 350 209 (1996)
11. Гусев А. И. ЖФХ 71 1177(1997)
12. Gusev A I J. Solid State Chem. 133 (1) 205 (1997)
13. Gusev A I, in Proc. of the ISBB’96 — 12th Intern. Symp. on Boron, Borides and Related Compounds (25-50 August 7996, Baden, Austria) (Wien (Austria): Universitrat Wien, 1996) p. 23
14. Орданьян С С, Унрод В И, Августинник А И Порошковая металлургия (9) 40 (1975)
15. Портной К И, Самсонов Г В, Фролова К И ЖПХ 33 577 (1960)
16. Duschanek H, Rogl P, Lukas H L J. Phase Equilibria 16 (1) 46 (1995)
17. Schouler М, Dicarroir М, Bernard C Rev. Intern. Hautes Temp. Refr. 20 (4) 261 (1983)
18. Villars P, Prince A, Okamoto H Handbook of Ternary Alloy Phase Diagrams Vol. 5 (Metals Park, Ohio, USA: ASM Publication, 1995) p. 5373
19. Rudy E Compendium of Phase Diagram Data. Final Tech. Report AFML TP- 65-2 Part V (Wright-Patterson Air Force Base) (Ohio, USA: Metals and Ceramics Division, Air Force Materials Laboratory, 1969)
20. J.C. Qian, Z.F. Zhou, W.J. Zhang, K.Y. Li, I. Bello, L.Martinu, J.E. Klemberg- Sapieha Microstructure and tribo-mechanical properties of Ti-B-C nanocomposite films prepared by magnetron sputtering. Surface and Coatings Technology Volume 270, 25 May 2015, Pages 290-298