ВВЕДЕНИЕ………………………………………………………………………………..6
ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ ТЕМЫ………………………..…7
1 ОБЗОР НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ ЛИТЕРАТУРЫ……………………………..…7
1.1 Физические основы и техническое обеспечение оже-спектроскопии…………7
1.2 Энергоанализ потоков электронов. Типы энергоанализаторов……………….12
1.3 Оже-спектросокопия совпадений и область ее применения…………………..22
1.4 Выводы. Постановка задачи………………………………………………….….24
2 ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ………………………………………………………..…24
2.1 Методы численного моделирования энергоанализаторов……………………..24
2.1.1 Методы численного моделирования электростатических полей…………25
2.1.2 Алгоритм решения уравнений движения заряженной частицы в электромагнитном поле методом Рунге-Кутта-Фельберга с контролем
точности вычислений………………………………………………………………26
2.2 Программа «ФОКУС» моделирования систем электронной оптики:
алгоритмы и характеристики…………………………………………………..…….31
2.2.1 Графический редактор…………………………………………………...….32
2.2.2 Процедура вычисления функции распределения потенциала…………....32
2.2.3 Процедура моделирования траекторий заряженных частиц в
электростатическом поле…………………………………………………………..33
2.2.4 Процедура моделирования траекторий заряженных частиц в
переменном электрическом поле………………………………………………….34
2.3 Предварительный анализ конструкций энергоанализаторов для оже-спектроскопии совпадений……………………………………………………...……36
2.3.1 Время движения электрона в центральном поле…………………..………36
2.3.2 Фокусировка по времени и дисперсия в условиях идеальной пространственной фокусировки…………………………………………..………38
2.3.3 Возможные схемы энергетического и углового анализа……………….....40
2.4 Выводы……………………………………………………………………..……..41
3 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ………………………………………………….41
3.1 Выбор базовых конструкций и численное моделирование
энергоанализаторов для оже-спектроскопии совпадений.…………………….…..41
3.2 Результаты эксперимента и их обсуждение…………………………………….42
3.3 Выводы……………………………………………………………………………49
4 ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ……………………………………………..…………50
4.1 Составление ленточного графика…………………………………………….……50
4.2 Составление сметы затрат на создание компьютерной модели энергоанализатора……………………………………………………………….……51
4.3 Экономическая эффективность………………………………………….………54
4.4 Выводы по экономической части………………………………………………..54
5 БЕЗОПАСНОСТЬ И ЭКОЛОГИЧНОСТЬ ПРОЕКТА…………………….………55
5.1 Анализ условий труда на рабочем месте пользователя ПЭВМ…………………55
5.2 Воздействие электромагнитных излучений на организм человека………..…….58
5.3 Обеспечение освещенности рабочего места…………………………...…………60
5.4 Экологичность проекта…………………….……………………………..…………..62
ЗАКЛЮЧЕНИЕ……………...…………………………………………………..….……63
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ………...………………………………………………….….64
В настоящее время для изучения физико-химических свойств приповерхностной области твердых тел широко используются методы электронной спектроскопии.
В частности, существуют области науки и техники, в которых имеется настоятельная необходимость определения примесей на уровне следов (<0.1 %) и ультраследов (<10-7%). Специалистам известно о влиянии таких примесей на широкий круг разнообразных физических свойств материалов и химических процессов, воздействию которых эти материалы подвергаются.
Современная техника связана с использованием электрических, магнитных и оптических свойств сверхчистых материалов, например, при изготовлении изделий волоконной оптики, полупроводников, сверхпроводников, ферромагнетиков и т.д. Следовые количества примесей зачастую определяют качество этих материалов.
Прогресс в традиционной микроэлектронике и переход к созданию приборов на основе нанотехнологий, прежде всего, обеспечивается аналитическим оборудованием, реализующим различные методы анализа вещества и позволяющим решать задачи создания и усовершенствования приборов полупроводниковой электроники, отладки и сертификации соответствующих технологических процессов.
Процессы жизнедеятельности живой клетки обусловлены содержанием в ней микроэлементов, что предполагает необходимость контроля их перемещения в биосистемах, особенно от почв к растениям и животным и, в конечном счете, к человеку.
Различные экологические проблемы выдвигают на передний план отрасли науки, связанные с мониторингом компонентов экосистемы Земли. Именно успехи в области изучения распространения галогеносодержащих пестицидов и других вредных веществ в глобальном масштабе, установление источников их попадания в окружающую среду, появление новых пестицидов, легко разрушающихся в ней, - все это стало возможным благодаря развитию высокочувствительных методов определения состава и структуры химических соединений.
Определение следов веществ играет важную роль в исследовании археологических объектов, поскольку дает важную информацию о природе и происхождении соответствующих материалов, позволяя установить возраст исследуемого предмета, подтвердить гипотезы о глобальных климатических изменениях, происходивших в прошлом.
Исследование потоков ионизированного вещества в ближнем и дальнем космосе позволяет прогнозировать глобальное состояние земной атмосферы, геомагнитную активность и т.д., и, в итоге, понять глубину и сущность воздействия космоса на механизмы функционирования планеты.
Анализ химического состава космических объектов все более приближает к пониманию ответов на вопросы о происхождении и развитии солнечной системы, Вселенной в целом, и зарождении жизни в ней; к возможности создания «второго дома».
В работе проведена разработка конструкции и исследование параметров энергоанализатора для ожеспектроскопии совпадений.
Исследование и анализ результатов показали, что предложенное в работе [40] сферическое зеркало по своим конструктивным особенностям и аналитическим характеристикам является мало пригодным для использования в методе оже-спектроскопии совпадений.
Система анализа потоков оже-электронов на основе тороидального дефлектора с промежуточной фокусировкой первого порядка, обеспечивающего на выходе угловую фокусировку второго порядка и дисперсию электронов по начальным энергиям, имеет качественную временную фокусировку и, поэтому может служить средством исследования элементарных процессов, протекающих при взаимодействии первичных частиц с электронной подсистемой твердого тела.
Таким образом, разработанная электронно-оптическая схема анализатора полностью удовлетворяет требованиям, предъявленным в задании на дипломное проектирование.
1. Сих М.П., Бригс Д., Ривьер Дж.К. и др. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. – М.: Мир, 1987. – 597 с.
2. Козлов И.Г. Современные проблемы электронной спектроскопии. – М.: Атомиздат, 1978. – 248 с.
3. Горелик В.А. Количественная оже-спектроскопия на базе цилиндрической оптики: Дис. канд. физ.-мат. наук.- Рязань, 1979. – 224 с.
4. Афанасьев В.П., Явор С.Я. Электростатические энергоанализаторы для пучков заряженных частиц. – М.: Наука, 1978. – 224 с.
5. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности.- М.: Мир, 1989.- 568 c.
6. Зашквара В.В., Корсунский М.И., Космачев О.С. Фокусирующие свойства электростатического зеркала с цилиндрическим полем // ЖТФ.- 1966.- Т. 36, вып.1.- С. 132-138.
7. Franzen W. Et al. Cylindrical mirror electrostatic energy analyzer free of third-order angular aberrations // United States Patent, Appl. No: 224 666. – 1983.
8. Меньшиков К.А. Электростатический анализатор заряженных частиц с тремя коаксиальными цилиндрическими электродами // ЖТФ.- 1982.- Т. 52, вып.11.- С. 2245-2252.
9. Трехкаскадный цилиндрический зеркальный энергоанализатор с фокусировкой четвертого порядка / Горелик В.А., Машинский Ю.П., Пиковская Т.М., Протопопов О.Д. // ЖТФ.- 1985.- Т. 55, вып.2.- С. 412-414.
10. Sar-El H.Z. More on the sperical candenser ar an analuzer nonrelativistic particals // Nucl. Istr. Meth.- 1966.- V.42.- №1.- P.71-76.
11. Зашквара В.В., Юрчак Л.С., Былинкин А.Ф. Электронно-оптические свойства электростатического сферического зеркала и систем на его основе (I) // ЖТФ.- 1988.- Т.58, вып. 10.- С.2010-2020.
12. Зашквара В.В., Максимов В.К., Былинкин А.Ф., Бок А.А. Аппаратная функция сферического зеркального анализатора в режиме идеальной угловой фокусировки: Тез. Докл. XI семинара «Методы расчета электронно-оптических систем».- Алма-Ата: ИЯФ АН Республики Казахстан.- 1992.- С. 43.
13. Гуров В.С. Энергоанализатор заряженных частиц на осесимметричной квадрупольной линзе: В сб.: Электроника, Рязань, РРТИ.- 1976.- B. 3.- C. 77-79.
14. Гуров В.С., Шеретов Э.П. О возможности создания энергоанализатора заряженных частиц на гиперболоидной осесимметричной линзе // ЖТФ.- 1984.- T.54, вып. 12.- С. 2383-2386.
15. Шеретов Э.П., Гуров В.С. О выборе параметра, определяющего эффективность работы гиперболоидных осесимметричных энергоанализаторов // ЖТФ.- 1985.- T. 55, вып. 8.- С. 1632-1635.
16. Шеретов Э.П., Гуров В.С., Сафонов М.П. Гиперболоидный осесимметричный энергоанализатор с возвратом частиц // ЖТФ.- 1987.- Т. 57, вып. 6.- С. 1185-1188.
17. Голиков Ю.К., Уткин К.Г., Холин Н.А., Чепарухин В.В. Дисперсионные и фокусирующие свойства электростатических квазиконических полей // Препринт №4. Л.: Изд-во СКБ АП. - 1987.- 30 с.
18. Голиков Ю.К., Кольцов С.Н., Холин Н.А. Разработка высокоразрешающего светосильного анализатора на основе электростатического цилиндрического аксиально-неоднородного поля // Известия Академии наук. Сер. физическая.- 1998.- Т.62, №3.- С. 555-558.
19. Ashimbaeva B.U., Chokin K.Sh., Saulebekov A.O., Assylbekova S.N. Electron optical properties of a hexapole cylindrical analyzer with face electrodes // Eurasian Physical Technical Journal.- 2004.- V.1, No.2.- Р. 24-29.
20. Ramaker D.E. // Phys. Scripta.1992.Vol. 41. P.77-87.
21. Thurgate S.M., Lund C.P. // J. Eletron Spectr. Relat. Phenom. 1995. Vol. 72. P. 289-297.
22. Bartynski R.A. // Phys. Scripta.1992.Vol. 41. P.168-174.
23. Глазер В. Основы электронной оптики.- М.: Гостехиздат, 1957.- 644 c.
24. Явор М.И. Синтез и исследование электронно- и ионно-оптических систем на основе развития методов теории возмущений: Дисс. докт. физ.-мат. наук.- С.-Петербург, ИАП РАН, 1996.- 235 с.
25. Самарский А.А. Теория разностных схем.- М.: Наука, 1983. - 616 с.
26. Самарский А.А. Введение в численные методы.- М.: Наука, 1987. – 286 с.
27. Dahl D.A. SIMION 3D Version 6.0 Users Manual INEL-95/0403.- Princeton Electronics Systems, Princeton, NJ, USA.
28. Зенкевич О., Морган К. Конечные элементы и аппроксимация.- М.: Мир, 1986. – 318 с.
29. Деклау Ж. Метод конечных элементов.- М.: Мир, 1976. – 316 с.
30. Сьярле Ф. Метод конечных элементов для эллиптических задач.- М.: Мир, 1980.– 296 с.
31. Бреббия К., Телес Ж., Вроубель Л. Методы граничных элементов.- М.: Мир, 1987.- 524 с.
32. Матвеев А.Н. Электродинамика.- М.: ВШ, 1980.- 383 с.
33. Калиткин Н.Н. Численные методы.- М.: Наука, 1978.- 512 с.
34. Дж. Форсайт, М. Малькольм, К. Моулер. Машинные методы математических вычислений. М.: Мир.- 1980.- 277 с.
35. Трубицын А.А. Программа «Фокус» моделирования аксиально-симметричных электронно-оптических систем: алгоритмы и характеристики // Прикладная физика. №2. 2008.
36. Трубицын А.А. Вычисление сингулярных интегралов при решении задачи Дирихле методом граничных элементов // Журнал вычислит. матем. и матем. физики.- 1995.- Т. 35, № 4.- С. 532-541.
37. Трубицын А.А., Зенин А.А., Зенин В.А. Метод граничных элементов для решения внешней задачи Дирихле в случае аксиальной симметрии // Вестник РГРТА.- Рязань, РИЦ РГРТА. – 2004.- Вып. 14.- С. 120-123.
38. Трубицын А.А. Корреляционный метод поиска угловой фокусировки высших порядков // ЖТФ.- 2001.- Т.71, вып.5.- С. 126-127.
39. Справочник по специальным функциям. Под ред. А.Абрамовица, И.Стиган. Пер. с англ. Под ред. В.А. Диткина, Л.Н. Карамзиной.- М.: Наука, 1979.- 832 с.
40. Давыдов С.Н., Данилов С.Н., Кораблев В.В. Сферическое зеркало как инструмент для электронной спектроскопии совпадений // ЖТФ. – 1999. – том 69, вып. 1. – с. 109-113.
41. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М.. Механика. М.: Наука, 1988. 208 с.
42. Hiroshi Daimon // Rev. Sci. Inst. 1988. Vol. 59. N 4. P. 545-549.
43. Anjam Khursheed. A second-ordered focusing toroidal spectrometer // Proceedings of the 11-th International Seminar “Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation”. –2008. - Brno, Czech Republic. – P. 97-98.
44. C. Miron, M. Simon, N. Leciercq and P. Morin. Rev. Sci. Instrum. 1997. Vol. 68. N 10. P. 3728-3737.
45. E.I. Rau, A. Khursheed, A.V. Gostev, and M. Gosterberg. Rev. Of Sci. Instrum. 2002. Vol. 73. N 1. P. 227-229.