Тема: ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ВОДОРОДА НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕИ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК SnO2 С ДОБАВКАМИ Au И Со В РЕЖИМАХ ПОСТОЯННОГО И ИМПУЛЬСНОГО НАГРЕВА
Закажите новую по вашим требованиям
Представленный материал является образцом учебного исследования, примером структуры и содержания учебного исследования по заявленной теме. Размещён исключительно в информационных и ознакомительных целях.
Workspay.ru оказывает информационные услуги по сбору, обработке и структурированию материалов в соответствии с требованиями заказчика.
Размещение материала не означает публикацию произведения впервые и не предполагает передачу исключительных авторских прав третьим лицам.
Материал не предназначен для дословной сдачи в образовательные организации и требует самостоятельной переработки с соблюдением законодательства Российской Федерации об авторском праве и принципов академической добросовестности.
Авторские права на исходные материалы принадлежат их законным правообладателям. В случае возникновения вопросов, связанных с размещённым материалом, просим направить обращение через форму обратной связи.
📋 Содержание
ВВЕДЕНИЕ 5
1. Принцип работы газовых сенсоров на основе тонких поликристаллических пленок диоксида олова 6
1.1 Механизмы отклика и изменения проводимости при воздействии водорода 6
1.2 Роль добавок, нанесенных на поверхность и введенных в объем диоксида олова 9
1.3 Параметры сенсоров водорода в импульсном режиме 13
1.3.1 Профиль проводимость - время сенсоров водорода. Определение вфз 13
1.4 Выводы по литературному обзору и постановка задачи 16
2 Экспериментальная часть 18
2.1 Технология изготовления полупроводникового газового сенсора 18
2.2 Методика проведения эксперимента 19
2.3 Результаты эксперимента и их обсуждение 20
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 30
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ 31
📖 Введение
В СФТИ выполнен цикл исследований, направленный на создание сенсоров водорода на основе тонких нанокристаллических пленок SnO2 [2-8]. Показано, что максимальные значения отклика на низкие концентрации Н2 наблюдаются в случае пленок диоксида олова с нанесенными на поверхность дисперсными каталитическими слоями палладия и платины. Однако в процессе длительных испытаний при воздействии водорода происходит рост отклика. С целью стабилизации параметров изучены пленки SnO2, модифицированные золотом, отличающиеся более низкими значениями отклика, которые также увеличиваются со временем эксплуатации. В литературе [9-13] опубликованы данные, согласно которым для управления свойствами сенсоров, изготовленных с использованием толстопленочной технологии, целесообразно применять добавки 3d - переходных металлов, таких как Cu, Ni, Co и др.
Целью настоящей работы является исследование влияния добавки кобальта в объем модифицированных золотом пленок SnO2, на характеристики и стабильность параметров сенсоров водорода в режимах постоянного и импульсного нагрева.
✅ Заключение
1. Микроструктура пленок диоксида олова из разных серий различается незначительно. Все пленки содержат мелкие нанокристаллиты размерами di~8 — 15 нм (серия (2)), 35 - 50 нм (серии (1) и (3)). Эти кристаллиты частично объединены в агломераты с размерами d2 от 100 до 300 нм. Следовательно, введение добавок кобальта не оказывает существенного влияния на микроструктуру пленок.
2. Электрические и газочувствительные характеристики сенсоров из трех партий различаются. Введение добавки кобальта способствует увеличению сопротивления сенсоров, изгиба зон на межзеренных границах и отклика на воздействие водорода, причем Ro , e^s и Gi/Go тем выше, чем выше содержание Со. Эти закономерности свидетельствуют о росте плотности центров адсорбции кислорода на поверхности оксида олова.
3. Показано, что в процессе длительных испытаний при воздействии водорода наблюдается увеличение Go , e^s и Gi/Go, главным образом обусловленные ростом и последующей стабилизацией величины etys, причем наиболее заметные изменения характерны для пленок, модифицированных только золотом. Атомарный водород, выделяющийся при диссоциативной адсорбции Н2, способен взаимодействовать с решеточным кислородом и частично восстанавливать выходящие на поверхность молекулы диоксида олова. Происходит рост плотности атомов сверхстехиометрического олова, являющихся центрами адсорбции кислорода.
4. Для образцов с добавками кобальта имеет место частичная стабилизация параметров. Высказано предположение, что при кристаллизации напыленных пленок в процессе термического отжига атомы Со в объеме SnO2 частично сегрегируют на поверхности микрокристаллов и образуют связи с решеточным кислородом, формируются атомы сверхстехиометрического олова, плотность Ni растет. Если связи с кислородом Co более прочные, чем Sn, то при длительных испытаниях атомарный водород окисляется не решеточным, а преимущественно хемосорбированным кислородом, стабильность характеристик сенсоров увеличивается.





