В настоящее время невозможно представить современную полупроводниковую электронику без фоточувствительных структур. Стоит вопрос создания структур высокого качества, и при этом затратить как можно меньше финансовых затрат. В последние годы исследователи проявляют очень большой интерес к созданию различных оптоэлектронных устройств на основе материала с квантовыми точками германия в кремнии. Такими приборами могут быть фотоприемники инфракрасного диапазона и солнечные элементы. К преимуществам данной материальной системы можно отнести: продление спектрального отклика в инфракрасную область, по сравнению c чистым кремнием, относительную дешевизну, безвредность для здоровья человека, работу в широком температурном интервале и совместимость c высокоразвитой технологией кремниевых интегральных микросхем.
В настоящее время наногетероструктуры на основе кремния с квантовыми точками германия становятся новым классом материалов для фотовольтаики. Самая общая оценка показывает, что предельная эффективность преобразования излучения в электричество для фотопреобразователей на основе таких материалов может достигать 63 % за счет поглощения излучения в большем интервале длин волн. Для фотопреобразователей на основе кремния коэффициент преобразования составляет 53 %. Характеристики фоточувствительных структур на основе
наногерероструктур Si-Ge такие как обнаружительная способность, КПД напрямую зависят от параметров квантовых точек. A наиболее перспективным методом получения таких структур является метод молекулярно-лучевой эпитаксии. Т.к обладает более высокой точностью и способностью задавать параметры структур.
Поэтому появляется необходимость изучения и расчета основных параметров наногетероструктур Si-Ge. Отсюда целью данной работы являлось провести расчеты темнового тока и обнаружительной способности ИК фотодетекторов на основе квантовых точек германия от условий роста.
Основные задачи:
• Обзор литературы;
• Способы получения фоточувствительных структур;
• Основные параметры фоточувствительных структур Рпор, D*, шумы;
• Изучение современное состояние фоточувствительных структур;
• Теория по расчету параметров фоточувствительных структур;
• Расчет параметров фоточувствительных структур;
• Обсуждение полученных результатов.
В ходе выполненной работы можно сделать следующие выводы:
❖ Приборы на основе соединений Si и Ge являются одними из самых интересных для развтия, это связанно с высокой интеграцией проводимых разработок с базовой кремниевой технологией;
❖ Метод молекулярно- лучевой эпитаксии является наиболее перспективным методом для создания и исследования фоточувствительных структур;
❖ Структуры с квантовыми точками на данный момент представляют повышенный интерес у исследователей, в связи с рядом преимуществ:
> Снятие запрета на оптические переходы, поляризованные в плоскости фотодетектора, что предоставляет возможность работы прибора при нормальном падении излучения;
> Большая величина коэффициента поглощения излучения для внутризонных и экситонных переходов из-за локализации волновой функции носителей заряда во всех трех измерениях пространства;
> Большое время жизни фотовозбужденных носителей заряда вследствие низкой скорости захвата носителей в квантовой точке, причиной последнего служит либо отсутствие разрешенных энергетических состояний между уровнем в квантовой точке и зоной распространенных состояний, либо подавление рассеяния на оптических фотонах в условиях, когда энергетический зазор между уровнями размерного квантования больше энергии оптического фонона;
> Малые темновые токи (а значит, и высокая рабочая температура детектора), последнее обстоятельство является следствием равенства энергии фотоионизации квантовой точки и энергии активации проводимости из-за дискретного энергетического спектра носителей в квантовой точке [6].
❖ Основные характеристики фотоприемника ИК диапозона является его обнаружительная способность, которая напрямую зависит от параметров квантовых точек, чувствительность и мощность эквивалентная шуму. Также неоспоримый вклад вносит величина темнового тока. Основными параметрами при выборе фотоприемников является возможность работы при высоких температурах без ухудшения характеристик и низкая стоимость изготовления. Эти параметры можно реализовать в наногетероструктурах SiGe с квантовыми точками Ge.
❖ При сравнении основных характеристик фоточуствительных структур на основе наногетероструктур можно сделать вывод, что при достижении высокой степени однородности массивов островков фотоприемники с наногетероструктурами SiGe могут конкурировать с фотоприемниками на основе структур HgGdTe. Как было замечено из полученных зависимостей структуры с квантовыми точками обладают рядом достоинств, по сравнению с объемными структурами HgCdTe, это малые темновые токи, которые в свою очередь обеспечивают низкий уровень шумов, более высокую обнаружительную способность при комнатных температурах.
❖ На основе проведенных расчетов темнового тока структур SiGe, можно сделать следующие выводы: темновой ток резко возрастает с ростом приложенного электрического поля (особенно в области низких напряжений); темновой ток фотодетектора очень сильно зависит от рабочей температуры.
❖ Проведено сравнение с экспериментальными данными полученными А.И. Якимовым (СО РАН РФ) и китайскими учеными во главе с Wang K. L., получено хорошее согласие результатов.
1. Дубровский В.Г. Теоретические основы технологии полупроводниковых наноструктур: учебное пособие, Санкт-Петербург, 2006. - 610с.
2. Н.Лойко. Введение в молекулярно-лучевую эпитаксию: учебное пособие, Москва, 1999. - 28с.
3. Лозовский В. Н., Константинова Г. С. , Лозовский С. В. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: учебное пособие. 2е изд., испр. — СПб.: Издательство «Лань», 2008. — 336 с.
4. Фотоэлектрические свойства наноструктур GeSi/Si. учебное пособие. / Д.О.Филатов, М.А. Исаков, М.В. Круглова - Н.Новгород: ННГУ, 2010. - 118 с.
5. Солнечные концентраторные фотоэлектрические установки [Электронный ресурс]: URL: - http://pvlab.ioffe.ru/Technology/sfeu.html (Дата обращения 16.06.2016).
6. Войцеховский А.В.,Ижнин И.И.,Савчин В.П.,Вакив Н.М. Физические основы полупроводниковой фотоэлектроники - Томск: Издательский Дом Томского государственного университета,2013.-560с.+2стр.вклеек
7. Якимов А. И., Двуреченский А. В., Никифоров А. И. и др. Фотодиоды Ge/Si со встроенными слоями квантовых точек Ge для ближней ИК-области // ФТП. - 2003. - Т.37. - №11. - С.1383-1388.
8. Якимов А. И., Двуреченский А. В., Кириенко В. В. и др. Волоконные Ge/Si- фотодиоды со встроенными слоями квантовых точек Ge для волоконнооптических линий связи // ФТП. - 2004. - Т.38. - №10. - С.1265-1269
9. Андронов А.А., Захаров Н.Г., Маругин А.В., Савикин А.П. Новые источники и приемники ИК и терагерцового диапазона: учебнометодический материал по программе повышения квалификации «Новые подходы к проблемам генерации,обработки, передачи, хранения, защиты информации и их применения».Нижний Новгород, 2007, - 95с.
10. Рогальский А. Инфракрасные детекторы. - Новосибирск: Наука, 2003. - 636с.
11. Фотоприемники видимого и ИК диапазонов под редакцией Р.Дж.Киеса :Перевод с английского под редакцией В.И.Стафеева. Москва «Радио и связь», 1985. - 238 c.
12. Кочанов Ю., Петрощенко М., Соломицкий Д. Инфракрасные датчики длинноволного диапазона на квантовых ямах // компоненты и техника: сб. статей, 2014. - 6 c.
13. Войцеховский А.В., Коханенко А.П., Лозовой К.А. Оптимизация ростовых условий для улучшения параметров фотоприемников и солнечных элементов с квантовыми точками. // Прикладная физика №5. Томск, - 2014. - С.45.
14. Yakimov A., Kirienko V., Armbrister V., Dvurechenskii A. Broadband Ge/SiGe quantum dot photodetector on pseudosubstrate // Nanoscale Research Letters. - 2013. - V. 8. - P. 217 (1-5).
15. Phillips J. Evaluation of the fundamental properties of quantum dot infrared detectors // J. Appl. Phys. - 2002. - V. 91. - № 7. - P. 4590-4594...19