Тип работы:
Предмет:
Язык работы:


Определение путей повышения термостойкости покрытий TiBi, получаемых PVD методом

Работа №175808

Тип работы

Дипломные работы, ВКР

Предмет

материаловедение

Объем работы62
Год сдачи2019
Стоимость4600 руб.
ПУБЛИКУЕТСЯ ВПЕРВЫЕ
Просмотрено
1
Не подходит работа?

Узнай цену на написание


Введение 4
Глава 1 Обзор литературы 6
1.1 Особенности контакта между титановой заготовкой и режущим
инструментом с покрытием 6
1.2 Покрытия, применяемые при обработке титановых сплавов 7
1.3 Физико-механические свойства диборида титана 9
1.3.1 Модуль упругости 9
1.3.2 Прочность 10
1.3.3 Устойчивость к разрушению 12
1.3.4 Твердость 13
1.3.5 Покрытия TiB2 16
1.4 Свойства покрытий на основе нитридов металлов 17
1.5 Методы получения тонких и наноразмерных покрытий 19
1.5.1 CVD методы осаждения твердых покрытий 19
1.5.2 PVD методы осаждения твердых покрытий 20
1.5.3 Катодное распыление 22
1.5.4 Магнетронное распыление 25
1.5.5 Вакуумно-дуговое распыление 26
1.5.6 Покрытия получаемые методом HiPIMS 27
1.5.7 Вакуумно-дуговой разряд 28
1.6 Конструкции вакуумно-дуговых распылительных устройств 29
1.7 Термостойкость (понятия и основные подходы к ее повышению) 30
1.8 Постановка задач исследования 32
Глава 2 Материал и методика исследования 33
2.1 Материал исследования 33
2.2 Методика измерения микротвёрдости по Виккерсу 35
2.3 Определение адгезионных свойств 36
2.4 Определение толщины покрытия методом шарового шлифа 38
Глава 3 Результаты исследований и их обсуждение 40
3.1 Результаты исследований покрытий диборида титана и диборида титана с
прослойками нитрида гафния и нитрида титана в исходном состоянии и после отжига при температуре 500 0С 40
3.2 Результаты исследований композиционных покрытий на основе диборида
титана и гафния 47
3.3 Результаты исследований свойств композиционного покрытия на основе
диборида титана и гафния 50
3.4 Анализ результатов исследований 52
Глава 4 Анализ вредных факторов производственной среды 53
4.1 Электрический ток 53
4.2 Электромагнитное излучение на рабочем месте 54
4.3 Давление 55
4.4 Организационные защитные мероприятия 55
Глава 5 Экономическое обоснование 55
Выводы 58
Список литературы 59

К конструкционным материалам, применяемым в авиационной промышленности, предъявляются особые требования. Им должна быть присуща высокая прочность, малый удельный вес, а также устойчивость к высокотемпературному воздействию. К подобным материалам относят сплавы на основе никеля, алюминия и титана. Доля сплавов содержащих титан непрерывно возрастает, что в свою очередь обостряет проблему его обработки, так как данные сплавы относят к так называемым «труднообрабатываемым» из- за небольшого срока службы металлорежущего инструмента. На текущий момент широко применяемые тонкие твердые покрытия на основе нитридов титана, алюминия и других металлов не могут обеспечить достаточного эффекта повышения срока службы инструментов, использующихся для обработки титановых сплавов.
В зарубежной литературе приводятся данные о перспективности использования покрытия диборида титана (TiB2). Для его создания используются наиболее современные методы осаждения покрытий, в частности метод магнетронного распыления высокой мощности (HiPIMS), который обладает целым рядом преимуществ по сравнению с другими методами физического осаждения (PVD). В то же время установлено, что эффективность применения указанного выше покрытия диборида титана при обработке титановых сплавов сильно зависит от режимов обработки и существенно снижается при повышении скорости резания. В связи с этим можно предположить, что это вызвано недостаточной термостойкостью данного покрытия из диборида титана. Таким образом, целью данного исследования является поиск возможных путей увеличения термостойкости покрытий диборида титана. Очевидно, что для достижения этой цели необходимо решить ряд взаимосвязанных задач, в частности, это разработка экспериментальной технологии нанесения покрытия диборида титана с более высокой термостойкостью, а также комплексное исследование его основных свойств (структуры, механических свойств и т. д.) и их изменения после термического воздействия.

Возникли сложности?

Нужна помощь преподавателя?

Помощь в написании работ!


В данной работе исследованы защитные покрытия на базе диборида титана, такие как диборид титана с подслоем нитрида гафния Н£М-Т1В2,слои диборида титана и нитрида гафния HfN-TiB2-HfN, слои диборида титана и нитрида титана TiN-TiB2-TiN.
Предложены режимы нанесения данных функциональных покрытий вакуумно-дуговым методом f=200 Hz, U=510 V; I=0,96A; PAr=4,5*10-3 мм. рт. ст. в течение 10 минут. Подслой нитрида гафния или нитрида титана наносится импульсным источником U=300 V; C=2200 mkF; f=5 Hz; PN=1*10-3 мм. рт. ст. в течение 3 минут. Предварительно наносится подслой гафния или титана в теч. 2 мин.
Изучена их термическая стойкость после отжига при 500 0С.
Резюмируя можно отметить следующие факты:
• Подтверждено снижение микротвердости и адгезионных свойств покрытия диборида титана.
• Установлено, что добавление нитрида титана не приводит к увеличению термостойкости покрытия диборида титана
• Установлено, что добавление азота при распылении диборида титана методом HiPIMS не приводит к повышению его термостойкости, но уменьшает скорость распыления и толщину покрытия.
• Покрытия на основе диборида титана с добавками гафния обладают наиболее высокой термостойкостью.
• Дополнительно установлено, что нитрид гафния обладает наилучшей термостойкостью.


1. N. Brenning, D. Lundin Alfven's critical ionization velocity observed in high power impulse magnetron sputtering discharges // Phys. Plasmas. 2012, vol. (No) 19. P. 93505-93510.
2. J. Vlcek, P. Kudlacek, K.Burcalova, J. Musil / High-power pulsed sputtering using a magnetron with enhanced plasma confinement // Journal of Vacuum Science & Technology A. 2007, vol. (No) 25. P. 42-47.
3. Investigation of high power impulse magnetron sputtering pretreated interfaces for adhesion enhancement of hard coatings on steel / M. Lattemann, A.P. Ehiasarian, J. Bohlmark et al. // Surface & Coatings Technology. 2006, vol. (No) 200. P. 6495-6499.
4. Recent advances in Modulated Pulsed Power Magnetron sputtering for surface engineering / J. Lin, W. D. Sproul, J. J. Moore et al. // JOM. 2011, vol. (No) 63. P. 48-58.
5. The physical reason for the apparently low deposition rate during high- power pulsed magnetron sputtering / J. Emmerlich, S. Mraz, R. Snyders et al. // Vacuum. 2008, vol. (No) 82. P. 867-870.
6. On the film density using high power impulse magnetron sputtering / M. Samuelsson , D. Lundin, J. Jensen et al. // Surface & Coatings Technology. 2010, vol. (No) 205. P. 591-596.
7. Influence of high power densities on the composition of pulsed magnetron plasmas / A.P. Ehiasariana, R. Newa, W.-D. Munza et al. // Vacuum. 2002, vol. (No) 65. P. 147-154.
8. Phase tailoring of Ta thin films by highlyionized pulsed magnetron sputtering / J. Alami, P. Eklund, J.M. Andersson et al. // Thin Solid Films. 2007, vol. (No) 515. P. 3434-3438.
9. J. Hopwood Ionized physical vapor deposition of integrated circuit interconnects // Phys. Plasmas. 1998, vol. (No) 5. P. 1624-1631.
10. Wiatrowski, W. M. Posadowski, Z. J. Radzimski Pulsed-DC selfsputtering of copper // Journal of Physics: Conference Series. 2008, vol. (No) 100. P. 62004-62007.
11. H. Matsui, H. Toyoda, H. Sugai High-energy ions and atoms sputtered and reflected from a magnetron source for deposition of magnetic thin films // Journal of Vacuum Science & Technology A. 2005, vol. (No) 23. P. 671-675.
12. Energy Transferred From a Hot Nickel Target During Magnetron Sputtering / A. Caillard, M. El’Mokh, N. Semmaret al. // IEEE transactions on plasma science. 2014, vol. (No) 42. P. 1-2.
13. J. Sellers Asymmetric bipolar pulsed DC: the enabling technology for reactive PVD // Surface and Coatings Technology. 1998, vol. (No) 98. P. 1245-1250.
14. M. Mikula, Mechanical properties of superhard TiB2 coatings prepared by DC magnetron sputtering// Vacuum. 2007, vol. (No) 82.
15. L. Wang, M. R. Wixom, and L. T. Thompson, Structural and Mechanical Properties of TiB2 and TiC Prepared by Self-Propagating High-Temperature Synthesis/Dynamic Compaction, J. Mat. Sci. 29, 534-543 (1994)...53


Работу высылаем на протяжении 30 минут после оплаты.




©2025 Cервис помощи студентам в выполнении работ