Цели работы 4
Введение 5
I. Моделирование осесимметричной диодной системы с одиночным по левым катодом специальной формы в цилиндрической системе координат 7
1.1 Моделирование полевого катода с помощью круговой заряженной нити 7
1.1.1 Физическая постановка задачи расчета потенциала, создаваемого круговой заряженной нитью 7
1.1.2 Математическая модель задачи с круговой заряженной нитью в ограниченной области 7
1.1.3 Вычисление распределения потенциала системы с круговой заряженной нитью в ограниченной области 9
1.1.4 Результаты численного расчета потенциала с круговой заряженной нитью 12
1.2 Моделирование осесимметричной полевой эмиссионной системы с диэлектриками 13
1.2.1 Физическая постановка задачи расчета потенциала в полевой эмиссионной системы с диэлектриками 13
1.2.2 Математическая модель полевой эмиссионной системы с диэлектриками 15
1.2.3 Решение задачи нахождения распределения потенциала в системе с учетом влияния двух диэлектриков и одной заряженной нити 15
1.2.4 Нахождение коэффициентов разложений потенциала из условий сопряжения на границе раздела двух диэлектриков 16
1.2.5 Результаты численного расчета потенциала полевой эмиссионной системы с диэлектриками 17
II. Моделирование плоскосимметричных двумерных диодных систем с полевыми катодами лезвийной формы в декартовой системе координат 19
II.1 Моделирование диодной полевой эмиссионной системы с помощью заряженной нити 19
II.1.1 Физическая постановка задачи расчета потенциала системы с заряженной нитью 19
II.1.2 Математическая модель системы с заряженной нитью в ограниченной области 20
II.1.3 Вычисление распределения потенциала системы с заряженной нитью 21
II.1.4 Результаты численного расчета потенциала системы с заряженной нитью 22
II.2 Моделирование системы с произвольным числом заряженных нитей с учетом влияния диэлектриков 24
II.2.1 Физическая постановка задачи расчета потенциала системы с заряженными нитями и диэлектриками 24
II.2.2 Математическая модель системы с заряженными нитями и диэлектриками 25
II.2.3 Вычисление распределения потенциала системы с заряженными нитями и диэлектриками 25
II.2.4 Результаты численного расчета потенциала системы с заряженными нитями и диэлектриками 27
II.3 Моделирование периодической системы полевых эмиттеров с помощью заряженных плоскостей 28
II.3.1 Физическая постановка задачи расчета потенциала периодической системы заряженных плоскостей 28
II.3.2 Математическая модель периодической системы заряженных плоскостей 28
II.3.3 Вычисление распределения потенциала периодической системы заряженных плоскостей 29
II.3.4 Результаты численного расчета потенциала периодической системы заряженных плоскостей 31
II.4 Моделирование периодической системы заряженных плоскостей, разделенных диэлектрическими слоями 33
II.4.1 Физическая постановка задачи расчета потенциала периодической системы заряженных плоскостей с диэлектрическими слоями 33
II.4.2 Математическая модель периодической системы заряженных плоскостей с диэлектрическими слоями 34
II.4.3 Вычисление распределения потенциала периодической системы заряженных плоскостей с диэлектрическими слоями 34
II.4.4 Нахождение коэффициентов разложений потенциала из условий сопряжения на границе раздела диэлектриков в периодической системе 35
II.4.5 Результаты численного расчета потенциала периодической системы заряженных плоскостей, разделенных диэлектрическими слоями 37
II.5 Вычисление напряженности электростатического поля 39
Заключение 42
Список литературы 44
Полевая электронная эмиссия (ПЭЭ) является одним из основных средств получения пучка электронов в вакууме. ПЭЭ играет важную роль во многих практических и исследовательских приложениях, включая электронно-вакуумные устройства, источники света и электронную микроскопию.
Полевые эмиттеры привлекают внимание исследователей благодаря своим уникальным эмиссионным свойствам и потенциальным технологическим применением. Основными характеристиками устройств, использующих полевые эмиссионные катоды, являются их малые геометрические размеры, потребление небольшой мощности для эффективной работы. Всё это делает такие устройства крайне перспективными в разработке различных малогабаритных устройств[1],[2].
Однако их проектирование связано с определенными сложными процессами при ПЭЭ. В то время как простые острийные структуры с очень большим соотношением геометрических размеров обеспечивают наилучшие величины усиления поля, они менее механически устойчивы, чем структуры с более низким соотношением размеров, что обеспечивает компромисс между усилением электростатического поля и другими практическими соображениями, такими, например, как механическая стабильность. Кроме того, некоторые процессы формирования эмиттеров естественным образом создают структуры со сложными формами[3]—[7].
Также системы с одиночным полевым острием обычно дают небольшие значения эмиссионного тока. В зависимости от назначения прибора, существуют несколько методов получения нужных значений полного тока в полевой эмиссионной системе. Во- первых, увеличить ток позволяют многоострийные системы. Также существует большое число экспериментальных исследований с массивами полевых катодов различной формы. Однако, в силу взаимного влияния множества эмиттеров друг на друга - эффекта экранирования - требуется исследование подобного влияния и определение оптимального набора геометрических параметров системы, например, плотности упаковки, где под плотностью упаковки понимается отношение расстояния между соседними эмиттерами к длине самого эмиттера.
Поэтому вторым методом является увеличение площади эмиссии самого полевого катода. Полевые катоды так называемой лезвийной формы обладают значительно большей площадью эмиссии по сравнению с одиночными острийными эмиттерами, что и позволяет увеличить общий ток в эмиссионной системе. Края слоев двухмерных полупроводниковых нано-материалов, например, графена, также обладают высокой эффективностью эмиссии и могут рассматриваться как полевые эмиттеры.
Преимущество математического моделирования полевых эмиссионных систем заключается в том, что они облегчают изучение ключевых параметров самой системы, таких как высота эмиттера, радиус вершины острия, геометрию массива, при этом подразумевая концептуальную простоту. Эти модели позволяют вычислить распределение потенциала и электрического поля как для одиночных острий, так и для массивов, поскольку позволяют получить простые аналитические выражения, вместо того, чтобы решать трехмерные задачи с соответствующими сложными граничными условиями.
В данной работе представлена методика моделирования эмиссионных систем на основе полевых электронных катодов. В первой главе исследуются осесимметричные диодные системы с одиночным полевым катодом специальной формы в цилиндрической системе координат. Во второй главе рассмотрены плоскосимметричные диодные системы как с одиночными полевыми катодами лезвийной формы, так и многоэмиттерные системы в декартовой системе координат.
Для получения представления об эффективности того или иного способа моделирования, необходимо рассчитать распределение электростатического потенциала во всей области системы. Нулевая эквипотенциальная линия, полученная в результате расчёта потенциала, визуализирует форму катода. Таким образом возможно контролировать форму поверхности катода, изменяя параметры рассматриваемой задачи, что дает возможность определить, удобен ли соответствующий метод для моделирования в требуемом диапазоне измерения геометрических параметров системы. Представленные аналитические формулы для расчёта распределения электростатического потенциала позволяют рассчитать напряженность поля во всей области для каждой из исследуемых систем, что даёт представление об их эмиссионных характеристиках.
В данной работе предложены методы моделирования различных двумерных эмиссионных систем на основе полевых эмиттеров. Одной из главных задач исследования полевых катодов является поиск наиболее удобного способа моделирования, который для каждой конкретной задачи поможет конструировать катоды необходимых размеров и форм. Особое внимание уделялось исследованию вопроса об изменении распределения электростатического потенциала внутри системы и влиянию изменения геометрических параметров системы на результат моделирования.
В первой главе представлены следующие осесимметричные эмиссионные диодные системы в цилиндрической системе координат:
—с одиночным полевым катодом специальной формы, моделируемым с помощью круговой заряженной нити,
—с одиночным катодом и диэлектрической прослойкой по радиальной переменной.
Во второй главе рассмотрены плоскосимметричные эмиссионные диодные системы в декартовой системе координат:
—с одиночным катодом лезвийной формы, моделируемым с помощью тонкой заряженной нитью,
—с одиночным катодом лезвийной формы, моделируемым с помощью произвольного числа бесконечно заряженных нитей, с учетом влияния диэлектрической прослойки на подложке катода,
—периодическая система эмиттеров, моделируемая с помощью заряженных плоскостей,
—периодическая система эмиттеров, разделенных диэлектрическими прослойками.
Для каждой из представленных моделей распределение электростатического потенциала было вычислено во всей области системы в аналитическом виде как разложения по собственным функциям, коэффициенты разложений найдены в явном виде.
В соответствии с полученными формулами приведены графики распределения потенциала для различных геометрических параметров рассмотренных диодных систем. Представлены примеры влияния на систему с помощью варьирования исходных значений параметров задачи.
Для осесимметричных систем, изменение границ области по переменным r и z меняет форму катода - рисунки 3,4. Влияние изменение соотношения диэлектрических слоев также продемонстрировано на рисунках 7,8.
Для систем, моделируемых в декартовой системе координат, использовались различные способы построения виртуального катода, форма которого представлена нулевой эквипотенциалью: с помощью заряженных нитей и с помощью заряженных плоскостей. Необходимо отметить, что задание формы эмиттера с помощью заряженных нитей является более предпочтительным, учитывая гибкость модели для широкого класса полевых катодов различной формы (рисунки 10—11, 13—14, 16—17, 20—21).
В работе представлены графики напряженности поля вблизи острия для нескольких из рассматриваемых систем. Напряженность является важной эмиссионной характеристикой модели и позволяет проанализировать целесообразность использования того или иного способа моделирования при создании реальных устройств вакуумной электроники. Значения напряженности для круговых нитей являются довольно большими, что говорит об удобстве использования данного метода при создания сравнительно крупных катодов в миллиметровом диапазоне (рисунки 22). Плоские модели, наоборот, обладают довольно слабыми значениями напряженности поля, однако их преимуществом является возможность использования таких систем в приборах наноэлектроники (рисунки 23—25).
Таким образом, каждая из представленных моделей обладает рядом преимуществ и недостатков, которые важно учитывать при проектировании реальных устройств. Однако каждая из разработанных моделей полевых эмиссионных систем может быть использована в реальных приборах, в зависимости от поставленной технической задачи.
[1] Forbes R. G. Physical electrostatics of small field emitter arrays/clusters // Journal of Applied Physics. 2016. Vol. 120, No 5. 054302.
[2] Hongzhong Liu, Yongsheng Shi, Bangdao Chen, Xin Li, Yucheng Ding, Bingheng Lu, Vacuum // 2011. Т. 86, C.934.
[3] Hansung Lee, Ki Buem Kim, Naesung Lee, Jeungchoon Goak, Jun-Young Park, Jusung Choi, Yongho Seo, Byoungyun Kong, Young Chul Choi, Choong Hu Lee, Yoon Ho Song, SciVerse ScienceDirect // 2012. T.50, C.2126-2133.
[4] A.T.T. Koh, J. Hsieh, Daniel H.C. Chua, Applied Surface Science // 2009. T.256, C.178- 182.
[5] E.M. Виноградова, H.B. Егоров, Д.С. Телевный, Журнал технической физики // 2014. Т. 84, №2. С.139.
[6] Vinogradova E. M., Egorov N. V., Televnyi D. S. Calculation of a triode field-emission system with a modulator // Tech. Phys. 2014. Vol. 59. Iss. 2. P. 291-296.
[7] Бугаев А. С., Виноградова Е. М., Егоров Н. В., Шешин Е. П. Автоэлектронные катоды и пушки. Долгопрудный: ИД «Интеллект», 2017, 288 с.
[8] Миролюбов Н. Н., Костенко М. В., Левинштейн М. Л., Методы расчета электро-статических полей. Москва. 1963.Государственное издательство "Высшая школа". 412 стр.
[9] M. Abramowitz, I. Stegun, Handbook of Mathematical Functions: with Formulas, Graphs, and Mathematical Tables. Washington D.C. 1972. Courier Corporation. 1030 стр.
[10] А.Н.Тихонов, А.А.Самарский. Уравнения математической физики. Москва. 1977. Наука. 735 стр.
[11] И.С. Градштейн, И. М. Рыжик Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. Москва. 1963. Государственное издательство физико-математической литературы. 1108 стр.
[12] Виноградова Е. М., Доронин Г. Г., Егоров Н. В. Математическое моделирование двумерной диодной системы с полевым эмиттером лезвийной формы // Журнал технической физики. 2020. Т 90. вып. 4. С. 540-543.
[13] Виноградова Е. М., Доронин Г. Г. Математическое моделирование двумерной периодической системы полевых эмиттеров // Вестник Санкт-Петербургского университета. Прикладная математика. Информатика. Процессы управления. 2020. Т 16. No 2. С. 121-128.
[14] Vinogradova E. M., Doronin G. G., Egorov N. V. Mathematical Simulation of a 2D Diode System with a Blade-Shaped Field Emitter // Technical Physics . 2020. 65(4), с. 514-517.
[15] Виноградова Е. М., Доронин Г. Г. Моделирование полевого эмиттера в двумерной диодной системе с диэлектрическими слоями // Процессы управления и устойчивость. 2020. Т 7. № 1. С. 90-93.
...