Тема: Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения.

Введение .......................................................................................................................................13
1.Литературный обзор.................................................................................................................15
1.1.Взаимодействие водорода с циркониевыми сплавами Zr1%Nb........................................15
1.2.Методы получения тонких пленок.......................................................................................17
2.Приборы и методы исследования, использованные в работе...............................................25
2.1. Состав и характеристики установки «Радуга-спектр»......................................................26
2.2. Автоматизированный комплекс «Gas Reaction Controller»...............................................28
2.3. Прибор для измерения адгезионной прочности покрытий Micro Scratch Tester MST-SAX-0000 ........................................................................................................................................30
2.4. Атомно-силовой микроскоп (АСМ), совмещенный с Романовским спектрометром
(остановка “Centaur U HR”)........................................................................................................32
2.5.Оптический спектрометр высокочастотного тлеющего разряда.......................................35
2.5.1.Оптическая спектрометрия высокочастотного тлеющего разряда ................................35
2.5.2.Спектрометр высокочастотного тлеющего разряда Profiler2 .........................................35
3.Экспериментальная часть ........................................................................................................39
3.1. Подготовка образцов и методы исследования ...................................................................39
3.2.Результаты и их обсуждение.................................................................................................40
3.2.1. Свойства образцов после ионно-иммерсионной имплантации ....................................40
3.2.2. Свойства приповерхностного слоя после нанесения TiN на не имплантированные
образцы.........................................................................................................................................47
3.2.3. Свойства образцов после ионно-иммерсионной имплантации и нанесения покрытий
.......................................................................................................................................................56
3.3. Основные результаты и выводы..........................................................................................61
3.3.1. Обобщение результатов, полученных в разделе 3.2.......................................................61
3.3.2. Описание основных результатов......................................................................................66
Вывод ............................................................................................................................................68
4.Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение..........................69
4.1. Планирование управления научно-техническим проектом..............................................69
4.2.Бюджет научного исследования ...........................................................................................70
4.2.1.Основная заработная плата................................................................................................70
4.2.2.Дополнительная заработная плата ....................................................................................71
4.2.3.Отчисления на социальные нужды...................................................................................71
4.3.Сырье, материалы, покупные изделия и полуфабрикаты ..................................................74
5. Социальная ответственность..................................................................................................77
5.1. Описание рабочего места.....................................................................................................77
5.2.Анализ выявленных вредных факторов проектируемой производственной среды........77
5.2.1.Производственный шум.....................................................................................................77
5.2.2.Микроклимат.......................................................................................................................78
5.2.3.Расчет искусственной освещенности ...............................................................................79
5.3.Анализ выявленных опасных факторов проектируемой производственной среды........8212
5.3.1.Электробезопасность .........................................................................................................82
5.3.2.Пожаровзрывобезопасность ..............................................................................................84
5.4.Защита в чрезвычайных ситуациях .....................................................................................86
5.5.Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности ................................87
5.6.Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности ................................88
Заключение...................................................................................................................................90
Список литературы......................................................................................................................91
Приложение А………………………………………………………………………………….94
Приложение В………………………………………………………………………………...104
Купить