Введение 9
Глава 1. Литературный обзор 10
1.1 Свойства нитрида алюминия 10
1.1.1 Строение 10
1.1.2 Основные свойства 12
1.1.3 Электрические свойства AlN 20
1.2 Области применения 20
1.3 Шликерное литье 23
1.3.1 Растворители 24
1.3.2 Связки 25
1.3.3 Пластификаторы 28
Глава 2. Методы и материалы 29
2.1 Цели и задачи 29
2.2 Методы 29
2.2.1 Растровый электронный микроскоп (РЭМ) 29
2.2.2 Определение вязкости 30
2.2.3 Определение устойчивости 31
2.3 Материалы 32
2.3.1 Порошок AlN 32
2.3.2 Связка 33
2.3.3 Растворитель 34
2.3.4 Пластификатор 36
Глава 4. Финансовый менеджмент 39
4.1 Анализ конкурентных технических решений 41
4.2 Планирование научно-исследовательских работ 43
4.2.1 Структура работ в рамках научного исследования 43
4.2.2 Определение трудоемкости выполнения работ 45
4.2.3 Разработка графика проведения научного исследования 45
4.2.4 Бюджет научно-технического исследования 52
4.3 Определение ресурсной, финансовой, бюджетной, социальной и
экономической эффективности исследования 57
Глава 5. Социальная ответственность 59
5.1 Производственная безопасность 60
5.1.1 Анализ вредных факторов 62
5.1.2 Анализ опасных факторов 64
5.2 Экологическая безопасность 66
5.2.1 Защита селитебной зоны 66
5.2.2 Защита атмосферы 67
5.2.3 Защита гидросферы 67
5.2.4 Защита литосферы 67
5.3 Безопасность в чрезвычайных ситуациях 68
5.4 Правовые и организационные вопросы обеспечения безопасности ... 69
Список литературы 71
Список публикаций студента 73
Нитрид алюминия не встречается в природе. Он был впервые получен в 1862 г. путем нагревания алюминия в атмосфере азота при температуре 973 К. Позднее он был препарирован при более высокой температуре, однако наблюдалось несоответствие многих свойств, таких, как цвет и стойкость к окислению. Его коэффициент теплового расширения соответствует кремнию. Ширина запрещенной зоны Eg = 6,2 эВ позволяет использовать AlN в качестве материала для светодиодов для фиолетовой и ультрафиолетовой областей спектра. Нитрид алюминия используется как криостойкое покрытие, стойкое к ударным нагрузкам. Для его синтеза используются методы магнетронного и диодного распыления.
Этот метод позволяет изготовлять текстурированные покрытия из нитрида алюминия с волокнистой структурой на любых типах подложек. Покрытия AlN на кремниевых подложках имеют высокое сопротивление и используются в качестве диэлектрического материала в интегральных схемах. Интерес к диэлектрическим свойствам системы «покрытия нитрида алюминия на кремниевой подложке» возрастает благодаря тому, что существуют точечные дефекты, такие, как вакансии азота и атомы кремния.
